2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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17 ナノカーボン » 17 ナノカーボン(ポスター)

[11a-P6-1~56] 17 ナノカーボン(ポスター)

2015年3月11日(水) 09:30 〜 11:30 P6 (総合体育館)

09:30 〜 11:30

[11a-P6-52] ヘリウムイオンビームを用いたサスペンデッドグラフェンの微細加工

〇(M1)武市 旺大1、兼竹 望1、ムルガナタン マノハラン1、八坂 行人1, 2、シュミット マレク1、水田 博1, 3 (1.北陸先端大, 2.日立ハイテクサイエンス, 3.サザンプトン大)

キーワード:グラフェン、ヘリウムイオンビーム、微細加工