PDF ダウンロード スケジュール 9 いいね! 0 09:30 〜 11:30 [11a-P6-52] ヘリウムイオンビームを用いたサスペンデッドグラフェンの微細加工 〇(M1)武市 旺大1、兼竹 望1、ムルガナタン マノハラン1、八坂 行人1, 2、シュミット マレク1、水田 博1, 3 (1.北陸先端大, 2.日立ハイテクサイエンス, 3.サザンプトン大) キーワード:グラフェン、ヘリウムイオンビーム、微細加工