[11p-A16-1~11] 3.15 シリコンフォトニクス

[11p-A16-4] TiO₂微粒子ポリマを用いたシリコン細線光導波路のアサーマル化

〇北 智洋¹、眞坂 美江子²、タン フレディ²、山田 博仁¹、井上 大介³、山下 逹弥³、各務 学³、杉原 興浩² (1.東北大工, 2.宇都宮大, 3.豊田中研)

キーワード：アサーマル、ポリマ、リング共振器