[11p-A21-1~12] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[11p-A21-11] Au-Au熱圧着転写によるAlGaN/GaN HEMTのDC特性の向上

〇廣木 正伸¹、熊倉 一英¹、山本 秀樹¹ (1.NTT物性研)

キーワード：GaN、HEMT、h-BN