[11p-A21-1~12] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[11p-A21-9] 水素雰囲気異方性熱エッチングによる超微細ナノGaN構造の作製

〇(M2)喜多 諒¹、蜂屋 諒¹、菊池 昭彦^{1, 2} (1.上智大理工, 2.上智大学ナノテクノロジーセンター)

キーワード：半導体、窒化物、エッチング