[11p-A26-1~16] 7.1 X線技術

△ [11p-A26-11] レーザー駆動EUV光源プラズマにおける先行膨張の最適化

〇(PC)松隈 啓¹、吉田 健祐¹、細田 達矢¹、藤岡 慎介¹、余語 覚文¹、西村 博明¹ (1.阪大レーザー研)

キーワード：EUV光源、レーザー生成プラズマ