[11p-A26-1~16] 7.1 X線技術

[11p-A26-15] ゲルマニウム多価イオンの EUV 放射特性

〇(M1)原 広行¹、ヂン タン フン²、大橋 隼人³、坂上 裕之⁴、鈴木 千尋⁴、加藤 太治⁴、村上 泉⁴、東口 武史^{1, 2} (1.宇都宮大院工, 2.宇都宮大オプト, 3.富山大工, 4.核融合研)

キーワード：極端紫外、原子過程、リソグラフィー