[11p-A26-1~16] 7.1 X線技術

[11p-A26-16] 高輝度 EUV 光源の放射特性

〇(M1)荒居 剛己¹、原 広行¹、ヂン タンフン²、砂原 淳³、三浦 泰祐⁴、遠藤 彰⁴、東口 武史^{1, 2} (1.宇都宮大院工, 2.宇都宮大オプト, 3.レーザー総研, 4.HiLASE Center)

キーワード：極端紫外、高輝度、リソグラフィー