[11p-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [11p-A29-1] 触覚、摩擦、温度センサ集積人工電子皮膚

〇原田 真吾¹、金尾 顕一朗¹、山本 祐輝¹、有江 隆之¹、秋田 成司¹、竹井 邦晴¹ (1.大阪府大)

キーワード：電子皮膚