[11p-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11p-A29-11] 水蒸気酸化によるポーラスシリコンの3次元構造形成

〇出野上 真樹¹、石黒 敬太¹、青木 画奈¹、藤井 稔¹ (1.神戸大院工)

キーワード：ポーラスシリコン