[11p-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11p-A29-3] マイクロ流路を一体化したMEMS Fabry‐Perot干渉型表面応力センサの製作

〇桝屋 善光¹、小澤 遼¹、石田 誠¹、澤田 和明^{1, 2}、髙橋 一浩^{1, 2} (1.豊橋技科大, 2.JST-CREST)

キーワード：表面応力センサ、タンパク質センサ、マイクロ流路