[11p-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11p-A29-5] エネルギーハーベスティングデバイスの検討(5)

〇小西 敏文¹、山根 大輔²、松島 隆明¹、益 一哉²、年吉 洋³、町田 克之^{1, 2} (1.NTT-AT, 2.東工大, 3.東大)

キーワード：MEMS、エネルギーハーベスティング、シミュレーション