[11p-B2-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[11p-B2-2] ラジカル重合型光硬化樹脂薄膜の表面弾性率のナノ不均一性

〇(B)矢野 春菜¹、久保 祥一¹、中川 勝¹、梁 暁斌²、藤波 想²、中嶋 健² (1.東北大多元研, 2.東北大WPI-AIMR)

キーワード：表面弾性率、光硬化樹脂、原子間力顕微鏡