[11p-B3-1~9] 最先端の電子・集束イオンビーム装置技術

[11p-B3-3] 透過型電子顕微鏡(TEM)における最先端技術

〇奥西 栄治¹、向井 雅貴¹、神保 雄¹、沢田 英敬¹ (1.日本電子(株）)

キーワード：透過型電子顕微鏡