[11p-B3-1~9] 最先端の電子・集束イオンビーム装置技術

[11p-B3-8] 集束イオンビーム立体ナノ構造形成技術とその高精度化

〇米谷 玲皇¹ (1.東大工)

キーワード：集束イオンビーム、化学気相成長法、描画装置