[11p-B5-1~9] 最先端CMOS技術とその将来展望

[11p-B5-4] 先端電子デバイスエッチング技術とその将来展望

〇田中 基裕¹、安井 尚輝¹、森本 未知数¹、伊澤 勝¹ (1.日立ハイテク)

キーワード：半導体、プラズマ、エッチング