[11p-D1-1~17] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[11p-D1-14] 大型スパッタカソードにおけるIGZO 膜の均一性向上

〇大久保 裕夫¹、磯部 辰徳¹、新井 真¹、清田 淳也¹、齋藤 一也¹ (1.アルバック)

キーワード：IGZO、スパッタ