[11p-D1-1~17] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[11p-D1-5] 酸化物半導体を低温溶液プロセスで作製する際のマイクロ波及び真空紫外光照射効果の確認

〇(PC)鄭 恵貞¹、小倉 晋太郎¹、吉田 学¹、牛島 洋史¹、福田 伸子¹、植村 聖¹ (1.産総研)

キーワード：酸化物半導体(IGZO)、薄膜トランジスタ、マイクロ波、光照射