[11p-D1-1~17] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [11p-D1-7] 溶液プロセスによる非晶質InZnO薄膜トランジスタ特性に対する湿式酸素アニールの影響

〇長田 至弘¹、石河 泰明¹、藤井 茉美¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大)

キーワード：a-InZnO TFT、溶液プロセス、湿式酸素アニール