[11p-D7-1~14] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[11p-D7-7] 非晶質SiおよびGe膜のFLA結晶化時の原子の振る舞いの差異

〇松尾 直人¹、平野 翔大¹、部家 彰¹、中村 祥章²、横森 岳彦²、吉岡 正樹² (1.兵庫県立大工, 2.ウシオ電機(株))

キーワード：結晶化、多結晶Ge、フラッシュランプアニール