[11p-D9-1~7] 斜め蒸着法，GLAD，STF等，シャドウイングによるナノ形態の制御と評価

[11p-D9-2] 3次元ナノテンプレートPLD法による遷移金属酸化物微細構造体創製

〇服部 梓¹、田中 秀和¹ (1.阪大産研)

キーワード：三次元ナノ構造、遷移金属酸化物