[11p-P2-1~15] 15.6 IV族系化合物

[11p-P2-10] 4H-SiC熱酸化膜への水分子吸着の影響

〇佐藤 旦¹、黒木 伸一郎¹、石川 誠治²、前田 知徳²、瀬崎 洋²、吉川 公麿¹ (1.広島大学ナノデバイス, 2.フェニテックセミコン)

キーワード：4H-SiC、水分子吸着