[11p-P2-1~15] 15.6 IV族系化合物

[11p-P2-6] ミラー電子顕微鏡およびSEM,FIB-STEMによるナノヒロック対構造の観察

〇一色 俊之¹、生頼 義久²、佐藤 高広²、福井 宗利² (1.京都工繊大, 2.日立ハイテク)

キーワード：ミラー電子顕微鏡、シリコンカーバイド、表面欠陥と転位