[12a-A17-1~15] 3.13 半導体光デバイス

[12a-A17-10] 混晶化法を用いたAlAs選択酸化に関する基礎実験

〇魏 徹¹、宮本 智之¹ (1.東工大・精研)

キーワード：酸化、選択、混晶化