[12a-A27-1~9] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[12a-A27-4] Zr Lα線源を用いたAESによるSiO₂/Si界面構造の評価

〇天野 裕士^{1, 2}、小林 大輔²、野平 博司¹、廣瀬 和之² (1.東京都市大工, 2.宇宙研)

キーワード：シリコン