[12a-A29-1~11] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[12a-A29-10] 大気圧マイクロ熱プラズマジェット結晶化Ge膜を用いたTFTオフ電流の結晶化速度依存性

〇中谷 太一¹、林 将平¹、森崎 誠司¹、山本 将悟¹、東 清一郎¹ (1.広大院先端研)

キーワード：熱プラズマジェット、ゲルマニウム、薄膜トランジスタ