[12a-A29-1~11] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[12a-A29-7] 非晶質C12A7エレクトライドのTFT電極への適用

〇小穴 保久¹、渡邊 俊成²、戸田 喜丈³、宮川 直通²、古田 薫¹、雲見 日出也³、細野 秀雄³ (1.エルジーディスプレイ, 2.旭硝子, 3.東工大)

キーワード：エレクトライド、薄膜トランジスタ、電極