[12a-C1-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

△ [12a-C1-1] ダイヤモンド上SiO₂ゲート絶縁膜の形成と評価

〇(B)原 壮志¹、袴田 知宏¹、小野 和子¹、瀬下 裕志¹、林 佑哉¹、平岩 篤¹、川原田 洋¹ (1.早大理工)

キーワード：ダイヤモンド、SiO2