[12a-C1-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

△ [12a-C1-3] 原子層堆積Al₂O₃-MOSキャパシタの高温電気的絶縁性に対するゲート電極材質の影響

〇松村 大輔¹、齊藤 達也¹、平岩 篤¹、川原田 洋¹ (1.早大理工)

キーワード：ALD、ダイヤ、Al2O3