2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[12a-C1-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

2015年3月12日(木) 09:00 〜 11:45 C1 (6C-104)

10:00 〜 10:15

△ [12a-C1-5] (001)ダイヤモンド上MBE薄膜AlNのIn-Plane X線回折法による評価

〇(B)林 佑哉1、小野 和子1、袴田 知宏1、平岩 篤1、川原田 洋1 (1.早大理工)

キーワード：AlN