2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[12a-C1-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

2015年3月12日(木) 09:00 〜 11:45 C1 (6C-104)

10:45 〜 11:00

[12a-C1-7] ダイヤモンド横型p-n接合についてケルビンプローブフォース顕微鏡による 表面電位評価と内部構造との相関

〇白田 和也1, 2、竹内 大輔2、牧野 俊晴2、加藤 宙光2、小倉 政彦2、山崎 聡1, 2 (1.筑波大学数理, 2.産総研)

キーワード:ダイヤモンド半導体、ケルビンプローブフォース顕微鏡