[12a-D1-1~12] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [12a-D1-2] 高周波熱プラズマ法による窒素ドープ酸化亜鉛ナノ粒子の生成

〇(DC)平儀野 雄斗¹、田中 暁巳²、竹内 浩²、竹内 啓²、藤田 恭久¹ (1.島根大院総理, 2.竹内電機)

キーワード：酸化亜鉛、プラズマ、ナノ粒子