2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[12a-D1-1~12] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2015年3月12日(木) 09:00 〜 12:15 D1 (16-101)

10:00 〜 10:15

[12a-D1-5] c面サファイア上V添加ZnO極薄膜配向性の成膜温度依存性

〇渡部 晃弘1、千葉 博2、川島 知之1, 2、鷲尾 勝由1, 2 (1.東北大工, 2.東北大院工)

キーワード:酸化亜鉛、バナジウム、単結晶