[12a-D1-1~12] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[12a-D1-6] c面とa面サファイア基板上V添加ZnO薄膜配向性の成膜温度依存性

〇千葉 博¹、渡部 晃弘²、川島 知之¹、鷲尾 勝由¹ (1.東北大院工, 2.東北大工)

キーワード：酸化亜鉛、バナジウム、結晶成長