[12p-A11-1~21] 7.2 電子ビーム応用

[12p-A11-7] アウトレンズ型低エネルギー二次電子検出器の開発と像観察

〇関口 隆史¹、岩井 秀夫¹ (1.物材機構)

キーワード：走査電顕、二次電子検出器、エネルギーフィルター