2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[12p-A18-1~18] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2015年3月12日(木) 14:00 〜 19:00 A18 (6A-208)

14:00 〜 14:15

▲ [12p-A18-1] Formation of polycrystalline Silicon Layer on Quartz substrate by Aluminium-induced Crystallization

〇(M1)Joko Suwardy1, 2, Wipakorn Jevasuwan1, Kaoru Toko2, Takashi Suemasu2, Naoki Fukata1, 2 (1.National Institute for Materials Science, 2.Univ. of Tsukuba)

キーワード：silicon,crystallization