[12p-A18-1~18] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[12p-A18-5] 融液からの炭素の蒸発を利用したCZ-Siの極低炭素化技術

〇永井 勇太¹、鹿島 一日兒¹、中川 聰子¹、日笠 光朗¹ (1.グローバルウェーハズ・ジャパン)

キーワード：シリコン、結晶成長、カーボン