[12p-A27-1~15] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[12p-A27-11] 領域分割半導体デバイスシミュレーションの収束ループの検討

〇福田 浩一¹、服部 淳一¹、越本 浩央¹、池上 努¹ (1.産総研)

キーワード：半導体デバイスシミュレーション、領域分割