[12p-A27-1~15] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[12p-A27-9] 次世代TCAD(3) 台形チャネルSi-nMOSFETの耐圧特性解析

〇山田 吉宏¹、大倉 康幸¹、山口 憲¹、小池 秀耀¹ (1.アドバンスソフト株式会社)

キーワード：MOSFET