[12p-A29-1~11] 未来を担う若手科学者の在り方　～集積化技術の新たな価値創造を目指して～

[12p-A29-4] フォーミングガスアニールがCr/SiO₂/Si界面の熱抵抗に与える影響

〇熊田 亜理沙¹、竹内 豪¹、宮田 耕¹、高橋 綱己^{1, 2}、内田 建^{1, 2} (1.慶應大理工 電子工, 2.JST CREST)

キーワード：3ω法、界面熱抵抗、フォーミングガスアニール