[12p-C1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[12p-C1-10] 硬質炭素膜のSRV摩擦摩耗試験機を用いたはく離特性評価に及ぼす膜厚の影響

〇大花 継頼¹、間野 大樹¹、中村 挙子¹ (1.産総研)

キーワード：硬質炭素膜