[12p-C1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[12p-C1-11] 酸素プラズマ処理によるDLCの表面改質

〇(B)河内 佑太¹、大越 康晴¹、本間 章彦¹、平栗 健二¹、荒船 龍彦¹、野口 展士¹ (1.東京電機大)

キーワード：DLC膜、C=O結合