[12p-C1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

△ [12p-C1-15] アモルファス窒化炭素薄膜の柱状構造がガス応答性に及ぼす影響

〇田村 尚之¹、青野 祐美¹、北沢 信章¹、渡邉 芳久¹ (1.防大材料)

キーワード：アモルファス窒化炭素、電気特性、ガス応答性