[12p-C1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[12p-C1-16] スーパーマグネトロンプラズマによる電界放出用a-CNx:H/Al膜の作製

〇木下 治久¹、鈴木 昌¹、田口 亮平¹、竹内 宏樹¹ (1.静大院工)

キーワード：スーパーマグネトロンプラズマ