[12p-C1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[12p-C1-2] ダイヤモンドライクカーボン薄膜の耐熱性向上に関する分光学的解析

〇鷹林 将¹、高萩 隆行² (1.東北大・通研, 2.広島大・先端研)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、光電子分光、耐熱性