[12p-C1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[12p-C1-3] 高周波マグネトロンスパッタリング法により堆積したアモルファス状炭素膜の構造と光学定数

〇荒川 悟¹、中谷 恭之¹、周 小龍¹、トゥンミー サラユット¹、小松 啓志¹、大塩 茂夫¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大)

キーワード：アモルファス状炭素膜、マグネトロンスパッタリング、光学定数