[12p-C1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[12p-C1-5] 熱CVDアモルファスカーボンの低温成膜技術

〇北村 昌幸¹、水永 覚¹、清水 亮¹、柿本 明修¹、早川 欣延²、濱田 康弘³ (1.東京エレクトロン東北, 2.東京エレクトロン宮城, 3.東京エレクトロン)

キーワード：カーボン、低温、CVD