[12p-C1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

△ [12p-C1-6] フィルタードアーク蒸着においてDCバイアスで成膜したDLC膜の諸特性

〇藤井 裕真¹、今井 貴大¹、宮本 優¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、田上 英人²、神谷 雅男³、瀧 真⁴、長谷川 祐史⁴、辻 信広⁴、金子 智⁵、安井 治之⁶、國次 真輔⁷、川口 雅弘⁸、三浦 健一⁹ (1.豊橋技科大, 2.北九州高専, 3.伊藤光学, 4.オンワード技研, 5.神奈川県産技セ, 6.石川工試, 7.岡山県工技セ, 8.東京都産技研, 9.大阪府産技研)

キーワード：DLC膜、フィルタードアーク蒸着、DCバイアス