[12p-C3-1~4] リソグラフィ技術の最新動向

[12p-C3-2] マルチパターニングによる微細加工の可能性

〇八重樫 英民¹、小山 賢一¹、山内 祥平¹、原 亜梨沙¹、名執 桜子¹、大和 雅俊¹、岡部 憲明¹、小池 恭平¹ (1.東京エレクトロン)

キーワード：マルチパターニング、１Dレイアウト、ラインエッジラフネス