[12p-P10-1~8] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[12p-P10-1] 粉体ターゲットプロセスによる機能性薄膜作製～成膜速度～

〇川崎 仁晴¹、大島 多美子¹、柳生 義人¹、猪原 武士¹、田中 雪¹、須田 義昭¹ (1.佐世保高専)

キーワード：粉体ターゲット