[12p-P10-1~8] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [12p-P10-4] メゾプラズマCVDによる高速横方向エピタキシャルオーバー成長

〇小谷野 哲郎¹、今村 雄将¹、神原 淳¹ (1.東大院工)

キーワード：化学的気相堆積、プラズマ、横方向エピタキシャルオーバー成長